利用波长为248nm的氟化氪（KrF）准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷（PZT）、硅（Si）和聚二甲基硅氧烷（PDMS）,研究了准分子激光对这3种材......

Ceramic materials are increasingly used in micro-electro-mechanical systems (MEMS) as they offer many advantages such as......

基于双光子吸收微制造原理和自制双光子微制造系统,对不同激光功率和不同曝光时间下,轴承的微加工成型性进行了研究.在photomer 30......

For the purpose of improving the precision of the inertial guidance system, it is necessary to enhance the accuracy of t......

介绍了快速成型技术及其研究方向,在研究微机电系统与微细加工技术的基础上,对比分析了一些基于快速成型技术的微细加工方法的优缺......

通过对双光予微细加工的原理分析，探讨了双光子加工中可能影响最终分辨率的各个因素，在所建立的分辨率理论模型指导下，研究了通过优化......

随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,......

金刚石因其卓越的物理和化学性能一直蕴涵着巨大的应用潜力，但其极高的硬度和优异的化学稳定性使其难以被加工成型，因此，在作为新型电......

激光微加工中，被加工材质与空气的折射率不同会产生像差，影响加工效果。基于激光微加工机理，运用波前像差函数推导出像差表达式，得到光......

采用微硅-锆钛酸铅（Si-PZT）悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块,构成可以工作于低频环境（小于1000Hz）的微压电能量采集器,一种利用......

针对PET塑料耐温性能较差,与标准微纳加工工艺不兼容等问题,开发了面向PET塑料基底材料的光刻、镀膜等微纳加工工艺。通过CVD生长......